(1)氬氣的電離電位較低，易于形成等離子區；
(2)氬氣為惰性氣體，不會與樣品金屬蒸氣反應；
(3)氬氣能夠傳輸真空紫外光譜(并非真空下的光譜，而是波長在10-200nm之間的光譜)，如C、P、S等，不會影響紫外及真空紫外區域元素的測定；
(4)氬氣為原子狀態氣體，譜線簡單，不宜形成譜線干擾；
(5)氬氣的背景輻射低；
自行檢查氬氣的質量比較困難，一般而言，首先是看氬氣供應商的資質，其次，為保證氬氣純度，可配置氬氣凈化器。若要對氬氣檢驗，須采購特定的氬氣純度測定儀。
當然還有一種簡單方法，因直讀光譜儀對氬氣的純度要求很高，可以用直讀光譜儀試用下，若能夠正常激發，打出來的點無異常，且數據穩定，一般來說就可正常使用。為避免出現霧狀白點，建議配置氬氣凈化器。
