原子熒光光譜儀利用惰性氣體氬氣作載氣，將氣態氫化物和過量氫氣與載氣混合后，導入加熱的原子化裝置，氫氣和氬氣在特制火焰裝置中燃燒加熱，氫化物受熱以后迅速分解，被測元素離解為基態原子蒸氣，其基態原子的量比單純。可同時測定雙元素，砷、汞、硒、銻、鉍、錫、硒、碲、鉛、鍺、鎘、鋅等十一種元素含量的痕量分析。
原子熒光光譜儀通過待測元素的溶液與NaBH4(K)混合，在酸性條件下生成氫化物氣體(如汞化砷等)從溶液中逸出，通過與氬氣、氫氣混合后進入到原子化器中(并被點燃)，氫化物高溫下分解并轉化為基態的原子蒸汽，通過該元素的空心陰極燈產生的共振線激發，基態原子躍遷到高能態(有時也會從某亞穩態開始躍)，它再重新返回到低能態，多余的能量便以光的形式釋放出來，這就是原子熒光(如果激發波長與熒光波長相同，稱為共振熒光，這是原子熒光的主要部分，其他還會產生不太強的非共振熒光)。
原子熒光光譜儀通常是采用色散元件及其相應的光學系統，將光譜輻射按照不同波長順序分解為光譜序列，然后進行觀察，記錄和測量的光學儀器。主要的光譜儀器包括光柵，棱鏡等。原子發射光譜主要利用棱鏡及光柵進行分光，而原子吸收分析中，常用的單色器色散元件是棱鏡或光柵。目前使用的更多的是光柵。
使用注意事項：
1.更換元素燈時一定要關閉主機電源。
2.一定要按順序開機：打開電腦進到WINDOWS桌面后，打開儀器主機電源，Z后進軟件。
3.儀器運行過程中不要進行其他電腦操作，尤其占內存比較大的程序。
4.儀器預熱可使用TEST測試方法，泵塊可以不用壓，可以不用進溶液，讓儀器空運行。
5.測量過程中注意觀察排廢泵塊是否壓好，廢液是否順暢排出。
6.泵的壓塊不能長時間擠壓泵管，用完儀器一定要及時松開泵塊，泵管應定期清理干凈并滴加硅油。
7.還原劑應現用現配，標準系列和標準儲備液應定期更換。
8.不能進高濃度的樣品，否則會污染進樣系統。
